Bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng

Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG GVHD: PGS. TS. Lê Văn Hiếu Học viên: Phùng Nguyễn Thái Hằng NỘI DUNG: I. PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ I.1 Phún xạ là gì ? I.2 Hệ số phún xạ I.3 Phún xạ Magnetron II. PHÚN XẠ MAGNETRON RF II.1 Khái niệm II.2 Cấu tạo II.3 Sơ đồ hoạt động II.4 Nguyên tắc hoạt động III. KHÓ KHĂN TRONG PP RF IV. SO SÁNH PHÚN XẠ MAGNETRON RF VỚI DC I.1 Khái niệm về phún xạ Hình ảnh mô tả Sự Phún xạ Đế Ar + BIA 5 I.2 Hệ số phún xạ n s  a n i s là hệ số phún xạ nα là số nguyên tử bị phún xạ ni là số ion đập vào bề mặt cathode Hệ số phún xạ s phụ thuộc vào : Bản chất của vật liệu phún xạ Loại ion và năng lượng của ion bắn phá lên bia Góc đập của ion lên bề mặt cathode Phụ thuộc vào áp suất khí làm việc Sự phụ thuộc của một số loại vật liệu làm bia vào sự phún xạ Ảnh hưởng của năng lượng ion vào sự phún xạ Sự phụ thuộc góc tới vào sự phún xạ Hệ số phún xạ đạt giá trị cao nhất ở vào khoảng góc tới có giá trị 720 I.3 Phún xạ Magnetron II.1 Khái niệm II.2 Cấu tạo hệ phún xạ Magnetron RF a/ Buồng phún xạ b/ Một số loại đế dùng trong hệ phún xạ Đế Ceramic (gốm) Đế Silicon Đế thủy tinh c/ Bia d/Bộ phận tạo chân không :Thường dùng 2 loại bơm: Bơm sơ cấp (bơm rote hoặc bơm quay dầu) Bơm khuếch tán Một số thông số của bơm chân không dùng trong hệ phún xạ Magnetron: Bơm sơ cấp (Bơm Rote,bơm quay dầu): Tốc độ : 30 m3/h. Áp suất tới hạn: 10-2 torr Bơm khuếch tán:  Tốc độ : 200 l/sec  Áp suất tới hạn : 10-10 torr Chân không phún xạ:  Chân không tới hạn : 10-7 torr Chân không làm việc : 10-2  10-3 torr e/ Bộ phận Magnetron Cấu trúc của một số hệ Magnetron thông thường