
Bài thuyết trình Đầu dò Langmuir
Thông tin tài liệu:
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài thuyết trình Đầu dò Langmuir SVTH: Nguyễn Vũ TyThầy Hướng Dẫn: PGS.TS LÊ VĂN HiẾU Tháng 7 năm 2010Có nhiều phương pháp được sử dụng để chẩn đoán plasma như :(1) Phương pháp quang phổ (dùng phổ kế).(2)Phương pháp dùng đầu dò điện .(3)Phương pháp dùng sóng viba.* Trong các phương pháp trên thì phương pháp sử dụng đầu dò điện được đánh giá cao nhất do có hệ đo đơn giản .Phương pháp này được phát minh vào đầu thếkỷ XX bởi Mott-Smith và Langmuir .LÝ THUYẾT CỦA DRUYVESTEIN.SỬ DỤNG ĐỊNH LuẬT ĐỒNG DẠNGMục tiêu cuối cùng là thành lập các công thức xác định các đặc trưng của plasmaHàm phân bố điện tử theo năng lượng tỉ lệ với đạo hàm cấp hai của đòng đầu dò . 2 d ie f (eV ) A V 2 dVTrong đó :+ V=Vp: là điện thế đầu dò plasma, tính bằng Volt (V).+f(eV) : là năng lượng điện tử, tính bằng electron-volt (eV).+ie : là dòng điện tử đến đầu dò. Có nhiều cách để tìm đạo hàm bậc hai của dòng đầu dò. Phổ biến nhất hiện nay là sử dụng dòng điện xoay chiều với biên độ nhỏ A1 Anod R3 V + R1 R2 Nguồn đầu dò + -Nguồn cao thế - A2 Nguồn xoay chiều tạo thế vi phân cho đầu dò catod Mạch điện dùng để xác định đạo hàm bậc 2 của dòng đầu dò Giả sử điện thế xoay chiều ∆V có dạng : ∆V= acos(ωt) Với a, ω là biên độ và tần số của điện thế xoay chiều. Dòng đầu dò được khai triển Taylor theo các mức ∆V như sau : 1 ie (V V ) ie (V ) i (V )V ie (V )(V ) ..... 2 e 2! a 2 a 4 a 3................. ie (V ) ie (V ) ie (V ) .... [aie (V ) ie (V ) cos2 t ...]cost 4 64 8 a 2 a 4 [ ie (V ) sin t ie (V )(2 sin 2 t sin 4 t ) ....]sin t .... 4 48 Đạo hàm bậc 2 dòng đầu dò có mặt trong thành phần không đổi và cả trong thành phần điều hòa của chuỗi Nếu bỏ qua thành phần điều hòa, ta có: a 2 a 4 ie (V V ) ie (V ) ie (V ) ie (V ) ..... 4 64Suy ra : 2 a ie ie (V V ) ie (V ) ie (V ) 4 4i ie (V ) 2 e aTrong đó a là giá trị cực đại của hiệu điện thế xoay chiều dùng để biến điệu dòng đầu dò.Để tính nồng độ điện tử ne, ta áp dụng công thức : 2 2m ieo V ie dV ne 0 e e S e dV Vi 0Trong đó : ieo cường độ dòng điện bão hòa (Vp=Vsp) S: diện tích bề mặt đầu dò hình trụnếu ieo được tính bằng mA , S được tính bằng mm2 khi đó ta có : i V ie dV ne 4,2.1010 eo 0 S e dV Vi 0dKhi điện thế đầu dò bằng điện thế không gian của plasma thì dòng đầu dò là dòng điện tử bão hòa ieo: 1 ieo ne e vS 4trong đó vận tốc trung bình của điện tử được xác định bởi công thức: 2 m0 f ( ) d v f ( )d 0Theo công thức Druyvestein thì : d 2ie f (eV ) A V dV 2Thay vào phương trình dòng đầu dò bão hòa ieo ta tìm được ne: 2 2m ieo V ie dV ne ...
Tìm kiếm theo từ khóa liên quan:
Bài thuyết trình Vật lý Đầu dò Langmuir Phương pháp chẩn đoán plasma Phương pháp đầu dò điện Langmuir Công trình của Druyvestein Định luật đồng dạngTài liệu có liên quan:
-
Bài thuyết trình Tiêu chuẩn ổn định của mode dao động
10 trang 57 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý nhóm 4
17 trang 28 0 0 -
Bài thuyết trình Chương 3: Khuếch đại và dao động thông số quang học
34 trang 28 0 0 -
Bài thuyết trình Các phương pháp đo tính chất từ của màng mỏng từ
19 trang 27 0 0 -
Các phương pháp chuẩn đoán plasma
114 trang 25 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý: Chất rắn
22 trang 25 0 0 -
Bài thuyết trình Phổ quang điện tử tia X XPS
30 trang 25 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý: Sự trộn ba sóng
18 trang 24 0 0 -
Bài thuyết trình Phát sóng hài bậc hai
9 trang 24 0 0 -
Bài thuyết trình Kính hiển vi STM
20 trang 24 0 0 -
Bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng
34 trang 24 0 0 -
Bài thuyết trình Plasma trên các vì sao
25 trang 23 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý: Các loại màng quang học
28 trang 22 0 0 -
Bài thuyết trình Kính hiển vi đường ngầm quét (STM)
36 trang 22 0 0 -
46 trang 21 0 0
-
Bài thuyết trình Các phương pháp chế tạo màng hóa học
29 trang 21 0 0 -
Bài thuyết trình Hệ quang học đồng trục
48 trang 21 0 0 -
Bài thuyết trình Nguyên tắc chung và thực nghiệm của các phương pháp biến điệu các phổ quang học
15 trang 20 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý: Phổ biến điệu bằng chùm sáng (quang phản xạ)
17 trang 20 0 0 -
Bài thuyết trình Vật lý: Quang phổ ứng dụng quang phát quang (Photoluminescence)
17 trang 20 0 0